贮氢金属多层膜制备技术及吸氢性能研究
本文研究了用电子束蒸发方法在Mo底衬上制备Ti-Ni复合膜和在SiO2底衬上制备Mo-Ti-Ni复合膜的方法,用离子束分析方法测量了各膜层的厚度,并对样品的吸氢性能进行了分析。研究发现,Ti膜表面镀Ni后,其吸氢温度降低,吸氢总量增加,表明其吸氢活性增强，Mo-Ti-Ni复合膜在Ti氢化后与SiO2底衬结合良好,并具有较高的强度,但这种膜对底衬的清洁度要求更高。50nm的Ti膜难以吸氢,原因可能是膜制备过程中温度过高,导致Mo-Ti-Ni之间扩散加深,形成相对过厚的过渡层,这还需进一步研究。
贮氢金属 镀膜 复合膜 吸氢性能 多层膜制备
刘锦华 丁伟 梁建华
中国工程物理研究院,核物理与化学研究所,四川,绵阳,621900
国内会议
苏州
中文
567-571
2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）