脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟

摘要：

本文分析了脉冲离子轰击靶膜和衬底的热效应,在能量较低的情形下,离子轰击处理为靶膜表面热流输入，采用有限元程序,对能量为600keV、束流为12mA的不同束斑半径的脉冲离子流轰击Cu基Ti靶的热传导进行了数值计算,得到了热传导清晰物理图象。

关键词： 脉冲离子束 轰击靶 数值模拟 热效应

作者: 石磊

作者单位: 中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 572-575

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）