基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术

摘要：

本文研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术,搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明,该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响,测量精度达到干涉仪水平。

关键词： 双共焦传感器 薄膜厚度 测量技术

作者: 杨蒙生 邢丕峰 高党忠 马小军 李朝阳

作者单位: 中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 576-578

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）