脉冲激光溅射沉积PZT膜

摘要：

利用脉冲激光溅射沉积PZT压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。

关键词： PZT薄膜 脉冲激光溅射沉积 压电陶瓷

作者: 冯钟潮 赵岩 钟志源

作者单位: 中国科学院金属研究所(沈阳) 香港城市大学(香港)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国激光加工学术报告会

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 262～264

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）