使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔
为了实现玻璃上的高效快速打孔，本文研究了使用长脉冲激光在石英玻璃上打孔的方法。通过在玻璃表面镀制ZrO2，解决了石英玻璃对1 064 nm激光吸收弱的问题。使用脉宽为1ms、波长为1 064 nm的Nd：YAG激光在石英玻璃上打出了深为1．55 mm的锥形孔。研究了激光打孔的能效比，结果显示，当激光的能量密度为6．8 kJ/cm2左右时，打孔的效能比最大。并分析了可能的原因。根据膜层及基底的吸收系数随温度增加而增加的特性，分析了形成锥形深孔的机理。采用在玻璃的双面都增加吸收层的方法，在玻璃上加工出柱状通孔。最后，分析和讨论了吸收层的热学性质和光学性质对打孔的影响，为提高打孔效率提供了设计方案。实验结果表明，使用单脉冲ms激光能够高效地在玻璃上打出小深孔。为提高玻璃打孔效率提供了新的思路。
激光打孔 高能激光 长脉冲激光 石英玻璃
戴罡 陆建 刘剑 张梁 倪晓武
南京理工大学理学院应用物理系,江苏 南京 210094
国内会议
长春
中文
280-286
2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）