TiAlON系薄膜材料的椭偏研究
光谱选择性镀膜可以提高太阳能收集器光热转换效率。最近，报道了Cu衬底上沉积的TiAIN/TiAION串联吸收体表现出梯度折射率，具有对太阳光谱中可见光波段高吸收和低红外波段发射率。到目前为止，TiAION材料体系的椭偏研究的报道并不多见，其中包括Biswas等人在2008年对TiAIN/TiAION椭偏测量的研究，表明可以用Tauc Lorentz模型描述绝缘性TiAION在450～1200nm波段内的特性，但并未探讨其他模型的适用性。 本文对不同条件下生长的TiAION薄膜样品进行了椭偏测量并拟合，比较了不同模型的拟合效果；对比了Cauchy，Lorentz和Tauc Lorentz模型的拟合效果，结果表明，在较窄的波段，三者都能较好拟合，有助于确定薄膜厚度；但Tauc Lorentz在更宽的光谱范围则能够更好描述短波的振子行为。本文所研究的单层薄膜可以作为进一步研究多层膜的基础。
TiAlON系 薄膜材料 椭偏测量 薄膜厚度
刘文德 陈赤 杜淼 郝雷 樊其明 徐英莹 张静
中国计量科学研究院，北京，100013 北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所，北京，100088
国内会议
武汉
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2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）