移相干涉术中的振动补偿算法

摘要：

移相干涉术的测试精度对环境振动非常敏感，为此发展了一系列抗振技术，其中L．L．Deck (2007，2009)提出一种算法，通过对移相干涉术求解的相位进行处理，能够有效消减振动引入的相位误差，称为振动补偿算法。但Deck在文献中对关键步骤描述过于简单，使得其算法操作困难。本文在详细解析该算法步骤的基础上，修改部分计算策略，使该算法更加简洁实用。

关键词： 移相干涉术 振动补偿算法 测试精度

作者: 李博 陈磊

作者单位: 南京理工大学电子技术与光电工程学院，南京 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国光学测试学术讨论会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 103

在线出版日期: 2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）