两平晶互检法绝对检验测量不确定度研究

摘要：

为了更好的满足科学研究和工程技术中对高精度光学平面的要求，多种平面绝对检验方法已经被提出，例如最早的是利用液面法实现绝对检验，后来又提出了Schulz方法、Fritz方法、奇偶函数法、旋转对称法等多种三面检验方法以及只需要两个平面的旋转剪切法、傅里叶变换法等。这些方法在实践中都得到了很好的应用，成为了光学平面高精度检测的重要途径。

关键词： 平晶互检法 检验测量 不确定度 光学平面

作者: 孙文卿 陈磊 徐晨

作者单位: 南京理工大学，南京市玄武区孝陵卫200号，210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国光学测试学术讨论会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 114

在线出版日期: 2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）