基于横向剪切干涉的光栅拼接实验研究
大口径平面衍射光栅的机械拼接在天文学及高能激光领域均有广泛的应用背景。利用光学方法检测子光栅相对位置和姿态进行光栅拼接的本质是检测子光栅衍射光束的相位差，一般要求光束夹角检测精度优于1μrad，相位检测精度优于0.4п。目前在激光核聚变高能激光系统中所用光栅机械拼接光学检测方法主要包括干涉法和远场光斑法。干涉法普遍采用泰曼-格林或斐索形式的面形检测干涉仪，前者需要参考臂结构复杂稳定性差，后者受标准面反射率的限制难以获得高对比度干涉图。本文提出利用一维横向剪切干涉进行光栅拼接检测，具有系统简单稳定的优点。
横向剪切干涉 光栅拼接 检测方法 光栅相对位置
胡摇
北京理工大学，北京市海淀区北京理工大学光电学院，100081
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武汉
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2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）