子孔径拼接测试中的系统误差放大效应及其消除方法
消除系统误差需要对标准平晶进行面形的绝对检验，然这在拼接所用的大口径干涉仪上是无法进行的。只因平晶的垂直翻转、旋转等均被吊装应力所限制而不能进行，一般三平面绝对检验只能获得Y轴的平面度轮廓数据。本文提出如下方式来消除系统误差放大效应：采用长平晶参与绝对检验，可以避开应力限制，获得水平轴上的平面度轮廓数据；在子孔径分布方式上，使得拼接轴位于水平或垂直方向，则其与绝对检验轴重合：利用绝对检验数据计算斜率差，在拼接过程中导入以限制系统误差的放大效应。
子孔径拼接测试 系统误差 放大效应 消除方法
王青 傅英
南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏省 南京市 210094
国内会议
武汉
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2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）