微电子器件检测校准技术研究

摘要：

微电子器件已经越来越广泛地应用于国民、国防电子产品之中。尽管混合电路的数量近年都以10％比例高速增长，但数字电路仍是我们使用的主要电路。所以为了确保电子产品的可靠性，无论是混合电路还是数字电路，微电子器件必须在使用前检测，并为了确保检测结果的准确性和量值一致性，还必须对微电子器件的校准技术和量值传递系统进行研究。本文重点讨论了如何对微电子器件进行计量的技术方向，可供有关人员参考。

关键词： 微电子器件 计量技术 检测校准技术

作者: 肖莹 沈森祖 孙海

作者单位: 武汉数字工程研究所，湖北，武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届中国微电子计量与测试技术研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 116-119

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）