微电子计量测试的质量保证方法研究

摘要：

在测试硬件一定前提下，微电子参数计量测试程序本身的质量高低，直接影响到测试结果的质量水平。本文丰要讨论了在微电子参数的计量测试程序开发、使用过程中的质量保证方法。可供有关人员参考。

关键词： 微电子 计量测试 程序开发 质量保证

作者: 周红 肖莹 沈森祖

作者单位: 武汉数字工程研究所，湖北，武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届中国微电子计量与测试技术研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 148-149

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）