单芯片集成加速度计陀螺的研究

摘要：

文章讨论了单芯片集成加速度计陀螺的结构及其工作原理，并对单结构加速度计陀螺的加速度信号和陀螺信号的分离进行了阐述。在以往的微型惯性测量组合中，加速度计和陀螺是分离的，这样将产生较大的轴间耦合误差。设计了双质量块振动系统，利用一个敏感头同时测量加速度和陀螺信号。在此基础上讨论了陀螺的驱动电路与信号检测电路。

关键词： 陀螺仪 加速度计 静电驱动 单芯片集成

作者: 刘俊 石云波 张文栋

作者单位: 北京大学微电子研究所,北京 100087 华北工学院电子工程系,山西 太原 030051 华北工学院电子工程系,山西 太原 030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国应变电测与传感器技术研讨会暨第三届日本TML产品用户交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 75-77

在线出版日期: 2008-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）