高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法

摘要：

叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理。依据ISO发布的测量不确定度表示指南，对Fizeau型高精度移相激光平面干涉测量系统的误差进行了系统分析，给出了高精度激光平面干涉仪的各项误差及总误差，其合成标准不确定度为2.63 nm。该研究分析方法可适用于同类仪器的测量不确定度评价。

关键词： 激光平面干涉仪 误差分析 高精度激光平面 系统误差

作者: 张恒 黄杨 康岩辉

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 124-127

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）