高精度双测头量块比较仪的研究

摘要：

研制了一种新型高精度量块比较仪，该比较仪采用上、下双电感测头进行测量。给出了比较仪的总体结构，系统采用数字滤波算法对电感测微仪的随机误差进行处理，在±20μm测量量程内，对比较仪进行了精确标定，编制了测最控制软件。并对该量块比较仪进行了重复性和示值误差测试。实验结果表明其示值误差δ≤±(0.02+0.002L)μm。

关键词： 计量学 量块比较仪 示值误差 双测头

作者: 张旭东 刘香斌 吴月艳

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 131-134

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）