激光干涉仪误差修正系统的设计
基于谐波分离修正算法，采用高速可编程器件，构建了一套激光干涉仪误差修正系统。该系统通过校准过程建立误差修正方程，并生成修正相位表。测量时数据采集及处理单元的可编程器件实现定点型移位相减除法运算，得到数字化的正切值，将正切值作为内存地址，通过硬件查表得到修正相位值，极大提高了误差修正速度。 并分析了定点型移位相减除法精度以及寻址空间大小对系统误差的影响。
计量学 激光干涉仪 谐波分离 误差修正系统
来展 邵宏伟 高思田 卢明臻
中国计量科学研究院 长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京 100013
国内会议
桂林
中文
135-138
2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）