长光栅测量系统误差修正方法

摘要：

针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法。通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长。提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高。对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值。

关键词： 长光栅 误差修正方法 光电显微镜 激光波长 线纹尺

作者: 束小梅 左勇 徐晓波 包玲

作者单位: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所,北京 100095 重庆长江轴承股份有限公司,重庆 410336

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 187-190

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）