平晶平面度测量方法的研究

摘要：

针对不同精度平晶的测量要求，介绍了3种平晶平面度的测量方法。阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性。对于高精度平晶的检测，介绍了2种绝对测量的方法。对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序，并进行了实验。不同方法的测试结果符合较好，面形评价数据在相同数量级上，验证了测试方法的可行性，实现了无参考面的高精度测量。

关键词： 光学测量 平晶平面度 Fritz三面互检法

作者: 孙佳媛 陈磊 徐晨

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,上海 201203 南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏 南京 210042

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 204-207

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）