物理气相沉积TiN涂层的抗空蚀性能研究

摘要：

利用磁致伸缩振动空蚀试验装置，研究了45钢不同处理工艺、45钢表面离子镀TiN薄膜及磁控测射TiN薄膜抗空蚀性能，并分析了两种沉积工艺薄膜的空蚀机理。试验结果表明，涂层的空蚀性能与材料硬度与材料硬度及表面特征有关。磁控溅射TiN薄抗空蚀性能优于离子镀TiN薄膜。

关键词： 45钢 物理气相沉积 TiN 空蚀

作者: 潘国顺 邵天敏 王义民

作者单位: 清华大学摩擦学国家重点实验室(北京) 煤炭科学研究总院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国青年摩擦学学术会议

会议地点: 江苏徐州

会议语种:中文

页码: 26-28

在线出版日期: 1999-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）