BEPCII储存环真空系统烘烤后的检漏实例分析
储存环真空系统每个区段在完成安装后都用氦质谱检漏仪进行过检漏，排除了漏孔后才进入真空烘烤阶段。真空系统烘烤后还可能产生个别漏孔，此时要找到漏孔会有一定的难度。烘烤后的真空系统启动了离子泵、吸气剂泵和升华泵，进入了超高真空阶段，一般来说不应该再使用氦质谱检漏仪，因为氦质谱检漏仪使用的分子泵机组极限真空度比较低，会破坏已有的超高真空环境。本文简述了BEPCⅡ储存环真空系统烘烤后用四极质谱仪检漏的几个实例。
BEPCII储存环 真空系统 四极质谱仪检漏
彭晓华 肖琼
加速器中心真空组
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青岛
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2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）