用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺

摘要：

采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提供了基本保障。

关键词： 微齿轮 UV-LIUGA 光刻工艺 胶膜结构

作者: 武蕊 郑英彬 袁明权

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国信息与电子工程第四届学术年会暨四川省电子学会曙光分会第十五届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 232-235

在线出版日期: 2010-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）