微倾斜悬臂梁力学特性研究与仿真分析

摘要：

可靠性问题已成为MEMS器件与产品工程化的瓶颈问题，微悬臂梁是MEMS的重要构件，其对MEMS可靠性的影响尤为重要。本文基于准静态理论研究了冲击载荷下微倾斜悬臂梁的响应特性，将微倾斜悬臂粱等效为微悬臂梁-质量块系统，据此分析了微悬臂梁最大应力与最大位移特性；在此基础上，应用ANSYS软件验证了理论分析的正确性。研究结论可用于指导微倾斜悬臂梁失效模式分析，为MEMS可靠性设计提供依据。

关键词： MEMS器件 微倾斜悬臂粱 准静态理论 可靠性

作者: 李孝涛 陶俊勇 张云安

作者单位: 国防科学技术大学 机电工程与自动化学院可靠性实验室,湖南 长沙 410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国机械行业可靠性技术学术交流会暨第四届可靠性工程分会第二次全体委员大会

会议地点: 湖南湘潭

会议语种:中文

页码: 174-177

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）