原子光刻中激光准直52Cr原子束研究
原子束准直度是原子光刻的关键参数之一，实验采用激光冷却技术对52Cr原子束进行横向冷却获得高准直度原子束。在分析原子光刻系统结构的基础上，重点研究了一维多普勒冷却技术，对激光准直进行受力分析。结果表明：在光强远小于饱和光强的条件下，驻波场可以代替两束对射的激光，为实验提供了理论依据;并得出弱场条件下多普勒冷却机制激光最佳失谐量为-2.5 MHz(铬原子的自然线宽为5 MHz)。在激光失谐为-2.5 MHz，功率为20mW的条件下进行实验，经过激光准直，原子束的准直度明显提高。
激光准直 原子光刻 多普勒冷却
焦晓光 石春英 殷聪 钱进
中国计量科学研究院,北京 100013
国内会议
北京
中文
728-731
2010-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）