衍射微透镜的设计与制作及性能测试
介绍了采用迭代角谱算法设计衍射微透镜，并利用基于标准微纳工艺的单步光刻和湿法腐蚀制作出试验性衍射微透镜的方法。对其进行表面形貌测试显示，所制衍射微透镜由高度在微米量级的多台阶连续浮雕结构组成，表面粗糙度在纳米量级，达到光学镜面水平，通光孔径在毫米级别。远场激光性能测试显示，所制试验性衍射微透镜，能够将红光激光聚焦为极细小的光斑;激光光束分析仪所得焦平面光强分布数据显示了预期的光斑直径和焦距数值。实验分析结果表明，衍射微透镜的光学性能可以通过改进设计算法及制作工艺得到进一步的提高。
衍射光学 衍射微透镜 迭代角谱算法 电子束曝光 湿法腐蚀 远场特性
王猛 张新宇 谢长生 张天序
华中科技大学 图像识别与人工智能研究所,湖北 武汉 430074 华中科技大学 武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430074 华中科技大学 武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430074 华中科技大学 图像识别与人工智能研究所,湖北 武汉 430074
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2010-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）