DVD测头S曲线的变化规律受被测表面特性的影响
光学探头由于其非接触和无损坏式的测量特性，在精密测量中受到了越来越多的关注。 其中，DVD激光头由于高集成度被广泛运用到了光学探头中。DVD激光头采用像散式的光学原理，通过四象限探测器输出聚焦误差电压信号FES(即S曲线)。光学探头将该电压信号反馈回控制单元，从而实现光学探头的自动控制功能。但实际中的被测物及其表面的特性各不相同，相应的S曲线变化也各不相同。因此，在实验的基础上，重点讨论了DVD激光头在对具有不同特性的被测物测量时S曲线的变化情况。这些不同的特性包括：物体的材料、表面粗糙度、表面加工方式、倾角不同的斜面和测量位置不同的曲面。讨论结果将会对光学探头在精密测量中的应用具有一定的参考意义。
聚焦误差信号 S曲线 DVD激光头
董敬涛 卢荣胜 夏瑞雪 李勇
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥 230009
国内会议
北京
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800-804
2010-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）