热导可变的高速微测辐射热计
给出一种高速的测辐射热计的原型结构。该结构结合RF MEMS开关和常规非致冷微桥结构，吸收桥面同时也是RF MEMS开关的上电极，衬底上的反射镜同时也是RF MEMS开关的下电极。吸收辐射阶段，桥面由热导很小的细长桥腿支撑，初始化阶段/读出阶段开关将桥面下拉至衬底，使桥面迅速降温至衬底温度。吸收阶段的热导小至让非致冷性能达到背景限制，读出阶段的热导大到让桥面在微秒内降温至衬底温度，从而避免了非致冷的速度和性能在热导上相互妥协。配合两阶段工作模式，采用自相减相关双采样技术，直接读出两阶段信号差值，该信号只与单元电阻相关，可以对该信号进行充分的放大。采用数值计算对结构的性能进行仿真，结果表明该结构可以工作在10KHz。该高速结构性能有望达到非致冷的背景限。
微测辐射热计 非致冷焦平面 相关双采样 射频开关
程正喜 马斌 张学敏 翟厚明 施永明
中国科学院 上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
国内会议
北京
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15-18
2010-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）