薄膜结构红外辐射电阻阵列的研制

摘要：

动态红外场景产生器是红外硬件闭环仿真系统的核心部件。提出了一种基于聚酰亚胺绝热层的2×16薄膜结构电阻阵列，并利用表面微机械加工技术完成了器件的制备。详细介绍了器件制备的工艺流程，重点研究了聚酰亚胺涂层胶的图形化工艺。最后，利用FLUKE T50型红外热像仪对器件的性能进行了测试，测试结果表明辐射单元表面的等效黑体辐射温度可以达到400K，能够满足中、长波红外硬件闭环仿真的需求。

关键词： 薄膜电阻阵列 聚酰亚胺 动态红外场景产生器 硬件闭环仿真

作者: 孙超 吴传贵 张万里 舒畅

作者单位: 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054 昆明物理研究所,云南 昆明 650217

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国光电技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 239-243

在线出版日期: 2010-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）