JEM-1230型透射电镜真空系统故障排除实例

摘要：

自2004年购进日本JEOL公司的JEM-1230型透射电镜已使用7年。由于测试任务很重，仪器长年运行，期间发生的一些故障在JEOL公司维修工程师的帮助下都得到解决。其中有一项真空系统故障曾发生过多次，根据每次故障的现象及诱因，我们认为与电镜真空阀门系统的设置位置有关，提请JEOL公司在今后电镜结构设计时加以改进，以避免类似故障频繁发生。本文介绍故障现象、检查过程以及解决方法，供同型号仪器的用户参考。

关键词： 透射电镜 真空系统 故障排除

作者: 王华 戎念杭 徐颖 洪健

作者单位: 浙江大学分析测试中心,浙江 杭州 310029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 70-71

在线出版日期: 2010-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）