Quanta 200F场发射环境扫描电镜维修方法初探

摘要：

随着科技的进步，电子显微镜的应用越来越广泛，功能越来越先进。作为可进行多状态下观察样品的场发射环境扫描电镜(ESEM)，也被越来越多的研究机构或工厂所使用。ESEM采用多极真空压差技术，在保持电子枪和镜筒的高真空状态下，样品室内可以保持较高的气压（极差真空）及较高的湿度和压力，而且配合配件可以调节温度。用ESEM可以观察不导电或含水分等样品，由于样品无需干燥，能保持生物活体形态结构的真实性。

关键词： 场发射环境扫描电镜 维修方法 多极真空压差技术

作者: 夏晓飞 许波

作者单位: 北京自然博物,北京 100050

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 90-91

在线出版日期: 2010-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）