阴极荧光(CL)和电子束诱导感生电流(EBIC)在材料和半导体器件研究中的应用

摘要：

阴极荧光（Cathodoluminescence.CL，如图l示）和电子束诱导感生电流(Electron beam inducedcurrent.EBIC)是通常安装在场发射扫描电镜上的两个附件。由于目前场发射扫描电镜的电子束斑尺寸一般在1 ~2 nm，而CL和EBIC正是利用场发射电子枪发出的电子束作为激发源，其空间分辨率可达到纳米量级。

关键词： 阴极荧光 电子束诱导感生电流 半导体器件

作者: 曾雄辉 黄俊 黄凯 邱永鑫 张锦平 王建峰 徐科

作者单位: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,测试平台电子显微镜实验室,江苏 苏州 215125

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 119-120

在线出版日期: 2010-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）