MEMS加速度计数字读出电路低功耗比较器的设计

摘要：

本文提出一种带时钟控制的动态CMOS锁存比较器结构，引入了交叉耦合负载，复位、钳位技术，获得了高精度和较低的功耗。设计采用0.5um CMOS高压工艺，电源电压为-5V~5V，10MHz时钟频率下，失调电压2uV，比较精度50uV，适用于MEMS加速度计数字读出电路的低频应用。

关键词： MEMS加速度计 比较器 锁存器 时钟控制

作者: 齐敏 孙泉 汤亮 乔东海 金湘亮

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100190 北京航空航天大学,北京,100191 湘潭大学,湘潭,411105

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国西部地区声学学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 364-366

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）