偏置电压对硅微电容超声换能器频率的影响分析

摘要：

本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率，并考虑了实际换能器工作需要施加直流偏置电压的情况，分别计算了有偏置电压时不同厚度振动膜的谐振频率，分析偏置电压对硅微电容超声换能器谐振频率的影响。

关键词： 硅微电容式超声换能器 谐振频率 偏置电压

作者: 郝震宏 汤亮 乔东海

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国西部地区声学学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 425-426

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）