力平衡模拟反馈电容加速度计的研究

摘要：

本文介绍了力平衡式模拟反馈电容加速度计的工作原理，对有特定参数的传感头设计了匹配电路并进行了Matlab仿真，仿真结果符合对系统的要求，对加速度计的匹配电路设计具有一定的参考意义。

关键词： 电容加速度计 微机电系统 力平衡 匹配电路 Matlab仿真

作者: 索智群 乔东海

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国西部地区声学学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 444-445

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）