光栅辅助的表面波传感器研究

摘要：

采用严格耦合波方法研究了普通棱镜耦合的表面波传感器与光栅辅助的表面波传感器的传感特性.设计了工作在1550 nm处的一维光子晶体与光栅的材料参数与结构参数.光栅的深度为20 nm,周期为524.6 nm,占空比为0.5.模拟计算表明,光栅的引入导致双共振峰的出现,表面波的模式出现分裂.当外界折射率变化时,两个共振峰向相反的方向移动.利用双共振峰的这种特性进行传感,可以使光栅辅助表面波传感器的角度灵敏度提高到普通棱镜结构表面波传感器的3倍以上.

关键词： 光电子学 表面波传感器 角度灵敏度

作者: 於丰 许兴胜 阚强 王春霞 刘宏伟 陈弘达

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光学前沿问题讨论会

会议地点: 云南丽江

会议语种:中文

页码: 100-104

在线出版日期: 2009-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）