金刚石工具在高新行业的应用

摘要：

近年来金刚石工具的应用逐渐从转统产业扩展到高新行业。由于诸多高新行业的制品所使用的材料属于高单价的硬脆材料，同时加工精度要求也高，因此需要使用高效能高精度的金刚石工具。本文将介绍集成电路“硅”片、太阳电池“单、多晶硅”、LED蓝宝石基板、TFT-LCD液晶玻璃加工流程中各工程所使用之金刚石工具。

关键词： 金刚石工具 高新行业 硅片 单晶硅 多晶硅 蓝宝石 液晶玻璃

作者: 蓝敏雄 陶俊贤 陈宗旗

作者单位: 台湾钻石工业股份有限公司 日本旭钻石工业株式会社 台湾钻石工业股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010海峡两岸超硬材料技术发展论坛

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 13-16

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）