CVD金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用

摘要：

本文采用热丝化学气相沉积法(Hot Filament Chemical VaporDeposition，HFCVD)，在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均匀、光滑的金刚石薄膜，并采用石墨以及碳化硅铝基增强复合材料(Al／sjC-MMCs)作为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能。铣削实验结果显示，在硬质金金整体式铣刀表面沉积一层CVD金刚石薄膜能够大幅提高铣刀的耐磨性，从而提高其寿命。

关键词： CVD金刚石薄膜 热丝CVD法 金刚石薄膜涂层刀具 石墨 碳化硅铝基增强复合材料

作者: 沈彬 孙方宏 张志明

作者单位: 上海交通大学机械与动力工程学院 上海 200240 上海交友钻石涂层有限公司 上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010海峡两岸超硬材料技术发展论坛

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 213-217

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）