多元复合纳米膜镀膜工艺自动控制的研究

摘要：

本文采用80C51单片机系统对PH-700A型多弧离子镀膜机的两路起弧单元进行改进，实现了弧靶起弧的自动控制，精确控制了不锈钢靶的起弧间隔和燃弧时间。利用该套设备制备了TiN／不锈钢多元纳米复合膜层，通过自动控制装置来调整不锈钢的开启方案对图层进行成分调节，并对图层的断口形貌、相组成、择优取向、硬度等进行了测试分析。实验结果表明，用多弧离子镀技术以每间隔数分钟开启不锈钢靶数秒的方式可以获得分层均匀、层与层之间有清晰的分界层的TiN/不锈钢超硬纳米复合涂层。图层中TiN晶粒尺寸普遍<15nm,达到纳米晶水平。

关键词： 80C51单片机 自动控制 多弧离子镀 TiN／不锈钢复合涂层

作者: 闫俊伟 夏天野 王从曾 马捷

作者单位: 北京工业大学材料科学与工程学院 北京 100124

会议类型: 国内会议

会议名称: 华北地区第十八届机械工程热处理技术交流会暨内蒙古机械工程学会热处理专业委员会第十五届学术年会

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 277-280

在线出版日期: 2010-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）