激光激发超声Lamb波的薄膜参数反演
薄膜材料在现代工业中有广泛的应用。相对于体材料，薄膜材料参数的无损表征与评价有较大困难。Lamb波的检测常用于估计薄膜材料的性质参数。Lamb波模式的相速度频散特性是分析薄膜参数的有力工具。激光超声方法是激发与检测Lamb波的有效方式，结合二维谱技术可直观观察到多模频散特性。通过激光超声检测及参数反演可以获得薄膜参数的定量信息。模拟退火方法是一种有效的反演算法? 它具有全局搜索，有效避免局部最小值的优点。本文采用激光超声方法检测薄膜Lamb波，由实验估计的相速度频散特性来反演薄膜参数。
薄膜材料 Lamb波 激光超声方法 薄膜参数
刘婧 王浩 胡文祥
同济大学声学研究所,上海,200092
国内会议
哈尔滨
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2010-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）