径向分层媒质的扫描电子声成像机理初探
扫描电子声显微镜（SEAM）具有分辨率高、同时得到试样表面和亚表面信息、对于试样表面制备要求不苛刻等优点，目前用于检测材料内部界观结构，残余应力分布，裂纹，镀层强度、生物组织等成像研究。但扫描电子声显微镜成像机理较为复杂，有待进一步探讨。本文利用蒙特卡洛方法模拟了电子束入射在径向分层结构样品中所形成的热源，并在此基础上利用有限元方法模拟了热源在样品中所形成的温度场以及温度梯度场。模拟结果显示，径向分层结构界面上存在着温度梯度的突变，可能产生较强的电子声信号。同时对径向分层试样进行了SEAM成像实验，在界面处得到了较强的SEAM反差。
径向分层媒质 扫描电子声显微镜 蒙特卡洛方法
陈慧 钱梦騄
同济大学声学研究所,上海 200092
国内会议
哈尔滨
中文
1-2
2010-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）