扫描探针声显微术和压电响应力显微术

摘要：

随着当代科学技术的高速发展, 迫切需要开展微米--纳米的材料和结构的无损评估。在扫描探针声显微镜基础上发展形成的扫描探针声显微镜（SPAM）和压电响应力显微镜（PFM），可以实现材料在纳米尺度上的力学和压电特性的检测和成像，因此是十分有前途的微米--纳米材料特性的无损评估技术。

关键词： 纳米材料 扫描探针声显微术 压电响应力显微术 无损评估

作者: 钱梦騄 程茜 柯微娜

作者单位: 同济大学声学研究所上海,200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国声学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-2

在线出版日期: 2010-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）