声表面波气体传感器异常响应的理论研究

摘要：

本文基于WO3/ZnO/Si三层模型，用传递矩阵法模拟WO3敏感层电导率变化所引起的传感器中心频率的变化情况，即电导率灵敏度，证明在吸附被测气体后，表面电导率的上升会引起中心频率下降，而表面电导率的下降则会引起中心频率的上升，即可能出现异常响应。

关键词： 声表面波气体传感器 异常响应 传递矩阵法

作者: 范理 周凤梅 高会栋 王成 张淑仪 张辉 王翔邦

作者单位: 南京大学声学研究所,近代声学实验室,南京,210093 中国电子科技集团55研究所,南京,210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国声学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-2

在线出版日期: 2010-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）