一种基于剪切型声表面波陀螺效应的角速率传感器

摘要：

基于声表面波(SAW)模式的陀螺仪具有很强的抗振动能力、高可靠性、低成本以及高灵敏度等特点，在运动制动、电子产品以及军用制导系统等方面显示出广阔的应用前景。本文就是将这种新型SH-SAW模式应用于角速率传感器研究。通过器件设计与测试以及传感器性能评价，初步研制出一种基于80MHz工作频率的新型角速率传感器。

关键词： 剪切型声表面波陀螺效应 角速率传感器 工作频率 性能评价

作者: 王文 李顺洲 刘明华

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国声学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-2

在线出版日期: 2010-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）