MOEMS微反射镜驱动电压与光束转动角度关系模型建立及分析
微光机电系统具有驱动电压低、转动角度大以及重量轻等优点,可应用于无线光网络组建和全光转发等应用领域。本文采用基于MOEMS技术制造的微反射镜来执行光束指向的精确控制,主要分析了MOEMS驱动电压与转动角度以及驱动电压与光斑重心坐标之间的关系,建立了MOEMS微反射镜驱动电压与光束转动角度关系模型,并得出驱动电压与转动角度之间呈线性关系,驱动电压与光斑重心坐标(x)之间在一定的区间范围内(x>1000μm)呈线性关系,而在x<1000μm呈现非线性的结论。
微光机电系统 光斑重心 光束指向
肖兆锋 李晓峰
电子科技大学空天科学技术研究院,四川成都,610054
国内会议
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2010-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）