双面Si条两维位置灵敏探测器的研制及在空间探测中的潜在应用
介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵敏探测器的结构，工作原理，制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16 条（每条的面积为50×3mm2）,在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25 伏偏压下，各条的反向漏电流都<10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量，得到2.2％的能量分辨率（对5.486MeVα-粒子）。
平面工艺 双面硅条两位位置灵敏探测器 反向漏电流 能量分辨 空间探测
谭继廉 卢子伟 张宏斌 王柱生 祖凯玲 鲍志勤 李春艳 龚伟 田大宇 于民 王金延 靳根明 张录 李占奎 徐瑚珊 李海霞 韩励想 魏计房 戎欣娟 王秀华
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国内会议
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2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）