粒子注入式厚探测器的初步研制

摘要：

经过北京大学微电子所和空间物理与应用技术研究所多方运作筹划、工艺设计、工程准备和实施，在今年五月份试制出1.5mm 的粒子注入式探测器，并进行了测试和分析。

关键词： 粒子注入式厚探测器 仪器测试 工艺分析

作者: 田大宇 仲维英 于民 王金延 王玮 张录 施伟红 于向前 陈鸿飞 邹积清

作者单位: 北京大学微电子所 北京大学空间物理与应用技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二十三届全国空间探测学术交流会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1-2

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）