CVD法制备高纯钛过程中杂质Ni的行为研究

摘要：

本文对高纯钛制备过程中杂质Ni的行为进行了热力学分析。杂质Ni在一定的条件下可以生成NiI2，再以NiI2的形式在沉积区分解，从而进入高纯钛中。通过分析得出了抑制Ni污染的温度控制范围。实验发现，在控制卤化源区温度773.15K～973.15K，沉积区温度1400K~1650K的条件下，可以较好地抑制NiI2的生成与分解。

关键词： 镍杂质 热力学分析 高纯钛 温度控制

作者: 陈肖虎 冯鹤 梁佰战 唐晓宁

作者单位: 贵州大学材料科学与冶金工程学院，贵州 贵阳 550003

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届冶金反应工程学学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 1-8

在线出版日期: 2010-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）