离子注入ZnO薄膜形成ZnO:Li的铁电性研究

摘要：

在ZnO 薄膜中注入能量为50~200keV、剂量为5×1016 cm-2 的Li 离子,并在400~700oC 进行快速热退火处理,形成ZnO:Li 铁电层.电极化测试观测到明显的电滞回线现象,注入能量为200kV 的样品在室温条件下的饱和极化强度为0.8μC/cm2,矫顽电场强度为8.2kV/cm,并在340~360K 之间观测到电介质的相转变信号.铁电性可能来自于ZnO中锌离子和掺杂元素Li 的离子半径不同而引起的偶极子位移,并与大剂量Li 离子注入所引起结构畸变有关.

关键词： ZnO:Li铁电层 离子注入 铁电性 电极化测试

作者: 邴丽娜 邹长伟 黎明 何俊 刘传胜 付德君

作者单位: 武汉大学物理学院加速器实验室及声光材料与器件教育部重点实验室 武汉 430072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国核学会2009年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 3412-3416

在线出版日期: 2009-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）