准分子激光刻蚀ITO薄膜制备透明电极的实验研究

摘要：

采用准分子激光微加工技术加工ITO透明电极，分析了准分了激光对玻璃和ITO薄膜的不同刻蚀阈值。借助高倍显微镜和三维形貌仪，讨论了准分子激光能量密度和工作台移动速度对电极加工质最的影响，最后指出在准分子激光对玻璃和ITO薄膜的两种刻蚀闽值区间内，选择较低激光能量密度和适当的工作台移动速度，有利于得到边缘较整齐侧壁倾斜度微小的透明电极。

关键词： 微加工 ITO薄膜 透明电极 准分子激光

作者: 申雪飞 陈涛 刘世炳 宋海英 陈继民

作者单位: 北京工业大学激光工程研究院,北京 100124

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 22-25

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）