注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究

摘要：

以乙酸锌为原料加水合成ZnO前驱液，采用自制的注射超声喷雾热分解方法在玻璃衬底上成功制备ZnO薄膜;通过正交试验选择液体注射速度、注射量、衬底温度、退火温度为实验要素;通过XRD、SEM、可见光透过率分析，优化制备条件为：液体注射速度为0.2ml／min、注射量3ml、衬底温度为450℃、退火温度500℃。制备的ZnO薄膜透光率达到85％。新的制备薄膜装置采用注射超声雾化手段，克服其雾化不均问题。

关键词： 注射方法 超声技术 喷雾热分解 ZnO薄膜

作者: 武光明 佟帅 朱艳英 张志乾 颜炳嘉 孙凯

作者单位: 北京石油化工学院,北京 102617

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 69-73

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）