Cu/TiOx复合薄膜的结构及亲水性研究

摘要：

在室温下，采用射频磁控溅射法制备了Cu／TiOx纳米晶复合薄膜。利用X-射线粉末衍射(XRD)、X-射线光电子能谱(XPS)对其结构进行表征，并研究了Cu／TiOx复合薄膜的UV-vis吸收谱和亲水性。结果表明，退火前后薄膜中钛元素皆以Ti3+形式存在。薄膜在可见区有吸收，吸收限为600nm左右。Cu／TiOx复合薄膜具有良好的亲水性。这主要是由于薄膜中氧化钛聚集形成TiOx，从而使得薄膜表现出亲水的性能。

关键词： Cu/TiOx复合薄膜 射频磁控溅射 亲水性 X-射线光电子能谱

作者: 王顺利 朱晖文 李培刚 徐蕙 崔灿 唐为华

作者单位: 浙江理工大学物理系,光电材料与器件中心,杭州 310018

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 89-93

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）